采购记录：厚铝溅射腔、氧化钒溅射腔
广东中科半导体微纳制造技术研究院
采购单位广东中科半导体微纳制造技术研究院
具体要买厚铝溅射腔、氧化钒溅射腔
采购类型物资
数量/工作量2项；逐项数量见下方
预算/包估算620万元
价格方式公告未单列单项价格
截止时间2026/10/20 09:00
交付地区广东
采购方式公开招标
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具体买什么：完整采购清单（2项）
逐项列出品名、类型、规格、数量、金额和截止时间；未披露的单项价格不会用项目总预算冒充。
厚铝溅射腔
数量：1台
单项预算：170万元
单价：公告未披露
采购单位：广东中科半导体微纳制造技术研究院
截止时间：2026/10/20 09:00
交付：广东
看识别依据
官方公告：1-1 | 电子工业生产设备 | 厚铝溅射腔 | 1(台) | 详见采购文件 | 1,700,000.00 | - |
氧化钒溅射腔
数量：1台
单项预算：450万元
单价：公告未披露
采购单位：广东中科半导体微纳制造技术研究院
截止时间：2026/10/20 09:00
交付：广东
看识别依据
官方公告：1-2 | 电子工业生产设备 | 氧化钒溅射腔 | 1(台) | 详见采购文件 | 4,500,000.00 | - |